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BTMEMS系列MFM的流量測量基礎(chǔ)原理為熱擴(kuò)散原理，介質(zhì)壓力和溫度變化理論上不影響流量 測量的精度，有利于提高測量精度和可靠性。BTMEMS系列MFM集成了MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))、數(shù)字信號處理、數(shù)值仿真等先進(jìn)技術(shù)。熱擴(kuò)散原理及上述技術(shù)的應(yīng)用保證了MFM的優(yōu)良性能。其

特點包括:高靈敏度、高可靠性、大量程比、壓損小、快速響應(yīng)、無需預(yù)熱、優(yōu)異的零點和溫度穩(wěn)定性、支持小微流量測量等。

BTMEMS系列MFM選用與美國半導(dǎo)體公司合作研發(fā)的流量傳感元件以及高性能的主控元件，產(chǎn)品生產(chǎn)檢驗全過程嚴(yán)格執(zhí)行質(zhì)量控制，保證產(chǎn)品的精度和長期可靠性。

BTMEMS系列適用于(1)新能源行業(yè)的光伏材料工藝設(shè)備、鋰電材料工藝設(shè)備、氫能燃料電池測試設(shè)備；(2)半導(dǎo)體行業(yè)如半導(dǎo)體集成電路工藝設(shè)備、光纖加工設(shè)備，包括擴(kuò)散、氧化、分子束外 延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入、真空鍍膜、光纖熔煉等生產(chǎn)工藝設(shè)備；(3)生物醫(yī)藥裝備如醫(yī)療和制藥氣體設(shè)備、實驗室微反應(yīng)裝置、氣體混合系統(tǒng)。

產(chǎn)品特點：

1.高靈敏度、高可靠性、

2.大量程比、壓損小、

3.快速響應(yīng)、無需預(yù)熱、優(yōu)異的零點和溫度穩(wěn)定性、支持小微流量測量等